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產品名稱：

ATV真空共晶回流系統

產品概述

上乘的ATV真空共晶回流系統，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發，由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現：與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送。主要應用于無缺陷焊接和產生上乘的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。


產品詳細
ATV真空共晶回流系統產品概述
ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑，業務專注于真空熱處理工藝設備，主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。
上乘的焊接系統，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發，由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現：與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送。主要應用于無缺陷焊接和產生上乘的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。
ATV真空共晶回流系統產品特點
1. *高控溫為700℃(更高可選)滿足所有軟釬焊工藝要求
2. 快速準確溫度控制
3. 可編程工藝過程控制
4. 氦氣漏率5×10^-9mbarL/s,氧氣含量可控在2ppm內(5mbar)
5. 真空可達1×10^-5mbar(分子泵)
6. 可選腔體正壓模式
7. 多種工藝氣氛：N2、N2/H2、純H2、HCOOH(N2載氣)
8. ArH2等離子輔助工藝
9. 腔室頂蓋配有觀察窗
10.完善系統狀態監控和**互鎖設計
ATV真空共晶回流系統技術參數
型號加熱板尺寸加熱功率
SRO-702 147×217 4kw
SRO-704 230×217 6kw
SRO-706 313×240 9kw
深圳辦地址：深圳市寶安區翻身路48區理想居A棟21E
電話: 86-755-61536512,18938900217
傳真: 86-755-61536610
 
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 郵件:bowenzhang@micropowergroup.com